Optimization of parameters of the linear TOF-SIMS spectrometer by DOE method
author:
Kosierb Adam , Merkwirth Christian, Pędrys Roman , Psonka-Antończyk Katarzyna
journal title:
Vacuum
title of volume:
Proceedings of the seventh International Conference on Ion Implantation and other Applications of Ions and Electrons (ION 2008),16-19 June 2008, Kazimierz Dolny, Poland
8th International Conference on Ion Implantation and Other Applications of Ions and Electrons; 2008-06-16; 2008-06-19; Kazimierz Dolny; Polska; indeksowana w Web of Science; indeksowana w Scopus; ;
affiliation:
Wydział Fizyki, Astronomii i Informatyki Stosowanej : Instytut Fizyki im. Mariana Smoluchowskiego, Wydział Fizyki, Astronomii i Informatyki Stosowanej : Zakład Technologii Informatycznych