Zbadanie wpływu parametrów wiązki klasterowej oraz właściwości powierzchni na efektywność rozpylania metali szlachetnych
alternative title:
Investigation of the influence of cluster beam parameters and surface properties on sputtering yields of noble metals
author:
Młynek Maksymilian
reviewer:
Postawa Zbigniew , Cyganik Piotr
advisor:
Postawa Zbigniew
date of submittion
:
2014-09-26
language:
Polish
abstract in Polish:
W pracy zbadano proces rozpylania wybranych metali szlachetnych (Pt, Ag, Au) klasterami argonu o różnej wielkości, za pomocą symulacji komputerowych metodą dynamiki molekularnej. Zależność współczynnika rozpylenia podłoża od energii kinetycznej pocisku jest w pewnym zakresie energii liniowa, jednak rozkłady dla poszczególnych podłoży nie są zbieżne. Celem pracy było znalezienie uniwersalnej reprezentacji dla zależności współczynnika rozpylenia powierzchni od energii kinetycznej pocisku dla trzech badanych metali. Metale dobrano tak, aby parami reprezentowały zbliżone wartości indywidualnych parametrów. Przeprowadzono szereg skalowań obliczonych wartości rozpylonej masy oraz energii kinetycznej pocisku używając parametrów podłoża takich jak stała sieci krystalicznej, masa atomowa czy objętość atomowa. Uzyskane wyniki pozwoliły na wyznaczenie uniwersalnej reprezentacji dla trzech badanych metali.
abstract in English:
The study investigated the process of sputtering of three selected noble metals (Pt, Ag, Au) by argon clusters of different sizes, using molecular dynamics computer simulations. The aim of the study was to find universal representation for the sputtering yield depending on kinetic energy of the projectile for three investigated metals. Metals were chosen to represent similar pairs of the individual parameters. Number of scalings were performed on calculated values of sputtered mass in order to find aformentioned representation. The results allowed to determine universal representation for three investigated metals.